发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Korrektur eines Positionierungssystems
摘要 Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Korrektur eines Positionierungssystems, das eine Systemsteuereinheit (10) und einen Programmspeicher (40) umfasst, in dem mindestens ein Programm (72) für mindestens eine Positionierungsfunktion speicherbar ist, wobei die Systemsteuereinheit (10) über eine Auswerte- und Steuereinheit (12) das mindestens eine gespeicherte Programm (72) zur Abarbeitung in einen Arbeitsspeicher (16) lädt, und ein korrespondierendes Verfahren. Erfindungsgemäß ist eine Konvertiervorrichtung (50) vorhanden, die ein für mindestens eine Positionierungsfunktion erstelltes Programm (72) durch Einarbeiten von Korrekturwerten (62) in einen Steuercode des Programms (72) modifiziert und als systemspezifisches Programm (52) einem vorgegebenen Positionierungssystem (1) zur Verfügung stellt, wobei die Korrekturwerte (62) speziell für das vorgegebene Positionierungssystem (1) ermittelt sind.
申请公布号 DE102007004971(A1) 申请公布日期 2008.08.07
申请号 DE200710004971 申请日期 2007.01.26
申请人 AFM TECHNOLOGY GMBH 发明人 BANZHAF, KLAUS;HAGENEY, THEO;MEYER, WOLFRAM;BULLINGER, ALEXANDER;GALL, CHRISTOPH
分类号 G01B21/04;B23Q16/00;G01B5/008;G01B11/03 主分类号 G01B21/04
代理机构 代理人
主权项
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