发明名称 TERMINATION TRENCH STRUCTURE FOR MOSGATED DEVICE AND PROCESS FOR ITS MANUFACTURE
摘要 <p>A process for fabrication of a MOSgated device that includes a plurality of spaced trenches in the termination region thereof.</p>
申请公布号 WO2008094497(A1) 申请公布日期 2008.08.07
申请号 WO2008US01081 申请日期 2008.01.28
申请人 INTERNATIONAL RECTIFIER CORPORATION;MA, LING 发明人 MA, LING
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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