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发明名称 Dampfquelle für Beschichtungsanlage
摘要
申请公布号 DE602005007648(D1) 申请公布日期 2008.08.07
申请号 DE200560007648T 申请日期 2005.03.03
申请人 TOHOKU PIONEER CORP. 发明人 ABIKO, HIROSI;MASUDA, DAISUKE;UMETSU, SHIGEHIRO
分类号 C23C14/24;H05B33/10;C23C14/54;H01L51/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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