| 发明名称 | 用于清洁探针卡的方法和设备 | ||
| 摘要 | 一种在半导体工艺中使用的清洁设备。该设备包括用于支撑待清洁的基片的基片支持物、擦洗盘安装板以及与所述基片支持物和所述擦洗盘安装板连接的卡盘。该卡盘被配置为用于移动所述基片支持物和擦洗盘安装板。所述设备还包括可安装到所述擦洗盘安装板并且可从该擦洗盘安装板移开的擦洗盘。当擦洗盘被安装到所述擦洗盘安装板时，该擦洗盘高于被安装在所述基片支持物上的基片。所述擦洗盘安装板和所述基片支持物均可被连接到所述卡盘，以便该卡盘可以通过一个动作来移动所述擦洗盘安装板和所述基片支持物。 | ||
| 申请公布号 | CN101238380A | 申请公布日期 | 2008.08.06 |
| 申请号 | CN200680028475.5 | 申请日期 | 2006.08.01 |
| 申请人 | 伊智科技公司 | 发明人 | M·福格特曼;R·哈根洛赫;U·纳亚克 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01);G01R3/00(2006.01);B08B1/00(2006.01);G01R1/073(2006.01) | 主分类号 | G01R31/28(2006.01) |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周建秋;王凤桐 |
| 主权项 | 1、一种清洁设备，包括：用于支撑待清洁的基片的基片支持物；擦洗盘安装板；与所述基片支持物和所述擦洗盘安装板连接的卡盘，所述卡盘被配置为用于移动所述基片支持物和所述擦洗盘安装板；以及可安装到所述擦洗盘安装板并且可从该擦洗盘安装板移开的擦洗盘，其中当所述擦洗盘被安装到所述擦洗盘安装板时，该擦洗盘高于被安装在所述基片支持物上的所述基片。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||