带锯齿的傅立叶滤波器及检查系统

摘要

提供了带锯齿的傅立叶滤波器和检查系统。一种傅立叶滤波器包括一个或更多个被配置来阻挡来自晶片的部分光的阻挡单元。所述傅立叶滤波器还包括形成在所述一个或更多个阻挡单元的边缘的周期性锯齿。所述周期性锯齿限定所述一个或更多个阻挡单元的过渡区段。所述周期性锯齿被配置为使透射横跨所述过渡区段变化，以使得横跨所述过渡区段的所述透射的变化基本上是平滑的。一种检查系统包括如上面描述的那样配置的傅立叶滤波器和检测器，所述检测器被配置来检查所述傅立叶滤波器透射的光。所述检测器生成的信号可以被用来检测所述晶片上的所述缺陷。

主权项

1.一种被配置来阻挡来自晶片的部分光的傅立叶滤波器，包括：一个或更多个被配置来阻挡所述部分光的阻挡单元；以及形成在所述一个或更多个阻挡单元的边缘的周期性锯齿，其中所述周期性锯齿限定所述一个或更多个阻挡单元的过渡区段，并且其中所述周期性锯齿被配置为使透射横跨所述过渡区段变化，以使得横跨所述过渡区段的所述透射的变化基本上是平滑的。