| 发明名称 | 表面的测量装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种表面的测量装置以及最好使用该装置进行测量的方法。所述的装置包括产生多色光束(2)的光源。所述的光束(2)通过成像光学系统(1)利用光学色差在距成像光学系统(1)不同距离的几点上聚焦；使聚焦光束(9)射各向表面(3)的一点上；并设置一传感器探测反射的光束(10)。本发明的目的在于尽可能地保持测量头与物体之间的最大距离。所述的成像光学系统(1)包括产生目标色差的一光学系统(4)和影响自成像光学系统(1)射出的聚焦光束(9)的光束路径的附加光学系统(6)。 | ||
| 申请公布号 | CN101238348A | 申请公布日期 | 2008.08.06 |
| 申请号 | CN200680015790.4 | 申请日期 | 2006.05.10 |
| 申请人 | 微－埃普西龙测量技术有限两合公司;格林泰克有限公司 | 发明人 | T·施塔梅斯特;B·梅塞施米特;K·维斯培特纳 |
| 分类号 | G01B11/02(2006.01);G01B11/24(2006.01) | 主分类号 | G01B11/02(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 钱慰民 |
| 主权项 | 1.一种表面的测量装置，所述装置具有一产生多色光束(2)的光源，其中所述光束(2)可通过成像光学系统(1)利用光学色差在距成像光学系统(1)不同距离的几点上聚焦；可把聚焦光束(9)引向表面(3)上；并且设有一传感器探测反射的光束(10)，其特征在于，所述的成像光学系统(1)包括产生目标色差的光学系统(4)和附加光学系统(6)，所述的附加光学系统影响自成像光学系统(1)射出的聚焦光束(9)的光束路径。 | ||
| 地址 | 德国奥滕伯格 | ||