发明名称 |
一种电泳复合沉积制备铁电、介电厚膜的方法 |
摘要 |
本发明涉及铁电、介电厚膜制备方法。公开了一种钛酸锶钡铁电、介电厚膜的制备方法,为将摩尔比为(1-4)∶(4-1)的BaTiO<SUB>3</SUB>粉体和SrTiO<SUB>3</SUB>粉体电泳沉积后经高温热处理制得钛酸锶钡铁电、介电厚膜。本发明制备钛酸锶钡铁电、介电厚膜成本低、成膜快、组分易于调整、适宜大规模制膜。 |
申请公布号 |
CN101234896A |
申请公布日期 |
2008.08.06 |
申请号 |
CN200810033722.1 |
申请日期 |
2008.02.20 |
申请人 |
同济大学 |
发明人 |
翟继卫;张玲 |
分类号 |
C04B35/468(2006.01);C04B35/47(2006.01);C04B35/622(2006.01) |
主分类号 |
C04B35/468(2006.01) |
代理机构 |
上海光华专利事务所 |
代理人 |
许亦琳;余明伟 |
主权项 |
1.一种钛酸锶钡铁电、介电厚膜的制备方法,为将摩尔比为(1-4)∶(4-1)的BaTiO3 粉体和SrTiO3粉体电泳沉积后经高温热处理制得钛酸锶钡铁电、介电厚膜。 |
地址 |
200092上海市杨浦区四平路1239号 |