发明名称 一种电泳复合沉积制备铁电、介电厚膜的方法
摘要 本发明涉及铁电、介电厚膜制备方法。公开了一种钛酸锶钡铁电、介电厚膜的制备方法,为将摩尔比为(1-4)∶(4-1)的BaTiO<SUB>3</SUB>粉体和SrTiO<SUB>3</SUB>粉体电泳沉积后经高温热处理制得钛酸锶钡铁电、介电厚膜。本发明制备钛酸锶钡铁电、介电厚膜成本低、成膜快、组分易于调整、适宜大规模制膜。
申请公布号 CN101234896A 申请公布日期 2008.08.06
申请号 CN200810033722.1 申请日期 2008.02.20
申请人 同济大学 发明人 翟继卫;张玲
分类号 C04B35/468(2006.01);C04B35/47(2006.01);C04B35/622(2006.01) 主分类号 C04B35/468(2006.01)
代理机构 上海光华专利事务所 代理人 许亦琳;余明伟
主权项 1.一种钛酸锶钡铁电、介电厚膜的制备方法,为将摩尔比为(1-4)∶(4-1)的BaTiO3 粉体和SrTiO3粉体电泳沉积后经高温热处理制得钛酸锶钡铁电、介电厚膜。
地址 200092上海市杨浦区四平路1239号