| 发明名称 | 用于缺陷检测的方法及系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于缺陷检测的系统、方法和计算机程序产品，该方法包括：(i)检索与目标的第一图像的测试像素相对应的第二图像的第二像素；其中第一和第二图像使用不同的获得方法得到；(ii)搜索第二图像的第三像素，从而使得第二像素的邻域与第三像素的邻域相类似；(iii)检索与第三像素相对应的第一图像的第四像素；以及(iv)将测试像素与第四像素进行比较。 | ||
| 申请公布号 | CN101236164A | 申请公布日期 | 2008.08.06 |
| 申请号 | CN200710142877.4 | 申请日期 | 2007.07.31 |
| 申请人 | 以色列商·应用材料以色列公司 | 发明人 | 迈克尔·本－伊谢;奥赫·格弗泰泽 |
| 分类号 | G01N21/956(2006.01) | 主分类号 | G01N21/956(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1. 一种用于缺陷检测的方法，该方法包括：检索与目标的第一图像的测试像素相对应的第二图像的第二像素；其中第一和第二图像使用不同的获得方法得到；搜索第二图像的第三像素，从而第二像素的邻域与第三像素的邻域相类似；检索与第三像素相对应的第一图像的第四像素；以及将测试像素与第四像素进行比较。 | ||
| 地址 | 以色列雷霍沃特 | ||