带有自定向发射极的磁沟道晶体管的制备方法和装置

摘要

本发明公开了带有自定向发射极之磁沟道晶体管的制备方法和装置。形成了一种带有自定向发射极层的磁沟道晶体管(MTT)。自定向发射极层通过去除一个邻近的反铁磁定向电阻厚层，减小了电阻。同时，本发明也通过从基极中去除一个被定向层，减小了磁沟道晶体管基极中的串联电阻。

主权项

1. 一种形成磁沟道晶体管的方法，包括：形成一个发射极，包括一个自定向的第一铁磁层，该第一铁磁层具有第一磁定向；形成一个基极，包括一个第二铁磁层，与第一铁磁层由第一和第二铁磁层之间的一个势垒层分开，该第二铁磁层具有第二磁定向；以及形成一个包括半导体材料GaAs的集电极，其中第一和第二磁定向的方向决定流过集电极的电流。