| 发明名称 | 垂向微调及重力补偿机构 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种垂向微调及重力补偿机构。本实用新型的垂向微调及重力补偿机构，包括用于支撑物体的静态重量的重力补偿器，位于重力补偿器上的驱动装置，该驱动装置对被支撑物体进行垂向微调及重力补偿。采用本实用新型的垂向微调及重力补偿机构能达到精确的位置控制，同时可以实现垂向三自由度方向的微调整和定位。 | ||
| 申请公布号 | CN201097107Y | 申请公布日期 | 2008.08.06 |
| 申请号 | CN200720076163.3 | 申请日期 | 2007.11.14 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 王天明;袁志扬;蔡良斌;严天宏;李志龙 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);G03F9/00(2006.01);H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1、一种垂向微调及重力补偿机构，其特征在于，包括：重力补偿器，用于支撑物体的静态重量；位于重力补偿器上的驱动装置，对被支撑物体进行垂向微调及重力补偿。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||