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发明名称
MASK ETCH PLASMA REACTOR WITH CATHODE LIFT PIN ASSEMBLY
摘要
申请公布号
KR20080003157(U)
申请公布日期
2008.08.06
申请号
KR20070017483U
申请日期
2007.10.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/3065;H01L21/68
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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