| 发明名称 | 一种气压控制装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种气体压力控制装置，它用于将输入的压缩气体调节并稳定在所需的压力和流量。它包括供气回路和排气回路，供气回路具有减压阀、毛细管和作为供气回路旁路的单向安全阀和精度控制阀，排气回路具有毛细管。藉由上述装置能够提供气压控制精度高、流量稳定的气流，对气压的调节作用依靠装置自身元件调节来实现，不需要外部的控制单元输出控制信号进行控制；系统结果简单，可靠性高，不需要外部动力就能运行，在光刻设备故障时，也能对气压腔体不间断的供气。 | ||
| 申请公布号 | CN201097222Y | 申请公布日期 | 2008.08.06 |
| 申请号 | CN200720076823.8 | 申请日期 | 2007.10.31 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 束剑平;王卫;李小平;杨园园 |
| 分类号 | G05D16/00(2006.01) | 主分类号 | G05D16/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 王敏杰 |
| 主权项 | 1、一种气压控制装置，它包括供气回路和排气回路，其特征在于：供气回路具有减压阀(4)、毛细管(6)和作为供气回路旁路的单向安全阀(7)和精度控制阀(8)，排气回路具有毛细管(11)。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张东路1525号 | ||