| 发明名称 | 曝光用光源以及使用该曝光用光源的曝光装置 | ||
| 摘要 | 提供可进行根据抗蚀层的曝光、并且产品的使用寿命长的曝光用光源以及使用该曝光用光源的曝光装置。曝光用光源(10)的特征是，具有至少两种以上的分别具有内压不同的灯(24)的灯组件(20(20a、20b、20c…))和保持灯组件(20(20a、20b、20c…))的灯组件保持件(22)。根据本发明，由于具有至少两种以上的具有内压各不相同的灯(24)的灯组件(20(20a、20b、20c…))，因此，可选择最适合对曝光对象物(X)进行曝光的灯组件(20(20a、20b、20c…))使其发光。 | ||
| 申请公布号 | CN101236358A | 申请公布日期 | 2008.08.06 |
| 申请号 | CN200710138265.8 | 申请日期 | 2007.07.31 |
| 申请人 | 凤凰电机公司 | 发明人 | 白井哲也;清木芳彦;中川敦二 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H05K3/06(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 何腾云 |
| 主权项 | 1. 一种曝光用光源，用于对曝光对象物进行曝光，其特征在于，所述曝光用光源具有：至少两种以上的分别具有内压不同的灯的灯组件、和保持所述灯组件的灯组件保持件。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||