| 发明名称 | 气体输送装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种气体输送装置，包括阀箱主体、升降装置以及多个管件。升降装置连接于阀箱主体，这些管件连接于阀箱主体与使用点之间。阀箱主体可藉由控制升降装置来调整其位置。 | ||
| 申请公布号 | CN101235938A | 申请公布日期 | 2008.08.06 |
| 申请号 | CN200710004757.8 | 申请日期 | 2007.01.30 |
| 申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 孙达生;施重庆;黄文旺 |
| 分类号 | F17D1/02(2006.01) | 主分类号 | F17D1/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 1. 一种气体输送装置，适用于配送一工艺气体至一使用点，包括：一阀箱主体；一升降装置，连接该阀箱主体，以调整该阀箱主体的位置；以及一第一管件，该第一管件连接于该阀箱主体与该使用点之间。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区 | ||