一种静电排斥力驱动的MEMS变形镜

摘要

本发明公开了一种静电排斥力驱动的MEMS变形镜，包含两个电源接线端、硅基底、位于硅基底之上的Si₃N₄绝缘层、位于绝缘层之上的多晶硅或金属下极板和下极板锚点，以及位于下极板上方的多晶硅或金属上极板、上极板锚点和上极板支撑梁，其特征在于：所述下极板各条边或者每间隔一条边的外面均有三个条形下电极；本发明的静电排斥力驱动的MEMS变形镜能够消除静电拉(pull－in)现象、增大光学像差校正能力、结构简单；且本发明的静电排斥力驱动的MEMS变形镜可构成连续或分离的镜面，由其构成的自适应光学系统能够适用于各种要求大行程变形镜的光学系统，具有十分重要的应用价值。

主权项

1、一种静电排斥力驱动的MEMS变形镜，包含电源接线端(1)、电源接线端(2)、硅基底、位于硅基底之上的Si3N4绝缘层、位于绝缘层之上的下极板(3)和下极板锚点(7)，以及位于下极板上方的上极板(8)、上极板锚点(10)和上极板支撑梁(9)，其特征在于：所述下极板(3)各边缘或者每间隔一条边的边缘外面均排布有三个条形下电极(4)、下电极(5)和下电极(6)。