介电复合物和制造介电复合物的方法

摘要

本发明提供了一种复合物，该复合物包括介电材料制成的膜。该膜具有第一表面和第二表面，且至少该第一表面包括突起和凹陷表面部分的表面图案。另外，该膜包括第一导电层，该第一导电层沉积于该表面图案上，该导电层具有由膜表面图案形成的波纹状。由此，本发明涉及一种实质上改变了其宏观机电性能的复合物的微机械设计。

主权项

1、一种复合物，包括：介电材料制成的膜，且该膜具有第一表面和第二表面，至少该第一表面包括具有突起和凹陷表面部分的表面图案，和第一导电层，沉积于该表面图案上，该导电层具有由该膜的表面图案形成的波纹状，其中该突起和凹陷表面部分具有沿该第一表面的至少一个方向周期地变化的形状和/或尺寸。