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发明名称 PLASMA REACTOR WITH NOZZLES AND VARIABLE PROCESS GAS DISTRIBUTION
摘要
申请公布号 KR20080003158(U) 申请公布日期 2008.08.06
申请号 KR20070017486U 申请日期 2007.10.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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