化学放大型抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂和至少两种盐，该树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元，式(I)中R¹表示氢原子或甲基，环X表示C3－C30环烃基，其中一个－CH₂－被－COO－取代，并且C3－C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，且p表示1至4的整数，并且该树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；该至少两种盐选自由式(II)表示的盐和由式(III)表示的盐，在式(II)中，Y¹和Y²各自独立地表示氟原子或者C1－C6全氟烷基，A⁺表示有机抗衡离子且R²¹表示可以被取代的C1－C30烃基，且该C1－C30烃基中的至少一个－CH₂－可以被－CO－或－O－取代，式(III)中，R²³表示C1－C8直链或支链全氟烷基，并且A⁺表示有机抗衡离子。

主权项

1.一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元：其中R1表示氢原子或甲基，环X表示C3-C30环烃基，其中一个-CH2-被-COO-取代，并且所述C3-C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，并且p表示1至4的整数，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，和选自由式(II)表示的盐和由式(III)表示的盐的至少两种盐：式(II)中，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或者C1-C6全氟烷基，A+表示有机抗衡离子并且R21表示可以被取代的C1-C30烃基，并且所述C1-C30烃基中的至少一个-CH2-可以被-CO-或-O-取代，A′+-O3S-R23 (III)式(III)中，R23表示C1-C8直链或支链全氟烷基，并且A′+表示有机抗衡离子。