具有工程覆层（OVERLAYER）的增强旋转阀传感器

摘要

公开一种检测数据存储介质上的磁记录信息的GMR传感器。所述传感器包括将导电隔离层夹在中间的铁磁自由层和铁磁固定层。在自由层上形成工程覆层，以便在不降低物理厚度的同时，减小自由层磁厚。

主权项

1. 一种制备GMR传感器的方法，所述GMR传感器在不减小自由层的物理厚度时具有减少的自由层磁厚，所述方法包括：形成具有固定磁矩的铁磁固定层；在所述铁磁固定层上形成导电隔离层；在所述导电隔离层上形成铁磁自由层，以便所述自由层具有物理厚度t以及磁厚Mr＊t，所述磁厚表示所述自由层的残余磁矩密度Mr和所述自由层的物理厚度t的乘积；以及在所述自由层上利用沉积处理形成保护性的非导电覆层，减少所述自由层的磁厚，在所述沉积处理中，在存在被控制的氧化气体时，所述覆层被直接沉积在所述自由层上，从而在不减小自由层物理厚度的情况下，将所述自由层的磁厚减少到需要的水平，其中沉积所述覆层包括：以等于或大于24sccm的流速传送的80％的氩和20％的氧的气体混合物提供的氧化下，借助利用氙原子的离子束沉积，沉积金属氧化物材料。