| 主权项 |
1.一种共面栅结构的紫外光探测器的制备方法，采用由传统通用的化学气相沉积装置制得带有硅沉底的高度定向的(100)金刚石薄膜材料；在该金刚石薄膜表面形成作为正极的一对叉指电极，而在硅沉底背面形成一个作为负极的背电极，最终形成共面栅电极紫外光探测器器件；其特征在于紫外光探测器器件具有以下的制备过程和步骤：a、使用Ansys模拟软件来模拟探测器内的电场分布，在最佳的电势均匀分布条件下，设计共面栅结构中最合理的栅宽和沟宽，由此决定电极尺寸的设计；b、使用光刻方法制作表面叉指电极：(1)样品清洗；用丙酮、乙醇和去离子水对金刚石薄膜样品清洗干净，随后放入烘箱中，在120℃下持完全烘干；(2)甩胶与前烘；用甩胶台在片子表面旋涂光刻胶6809，转速为2500rpm，旋转30s，使样品表面形成一层均匀的光刻胶，厚度达到0.6～0.7μm；随后在80℃的烘箱内前烘20分钟；(3)曝光与显影；在KarlSuss曝光机上，按设计得到的尺寸的掩模板进行对位和曝光；然后将其浸没在氯苯中5分钟，得到梯形结构的叉指电极图形；(4)金电极制作；金属材料金与金刚石膜能形成良好的欧姆接触，为了保证金电极与金刚石表面粘附牢固，采用直流溅射法制备金电极，溅射电流为2mA，时间为30分钟；(5)电极剥离；将上述溅射好金的样品放入丙酮中浸泡，并超声处理5分钟，使叉指电极图形之外的光刻胶溶掉，同时将上面的金属从表面剥离；从而形成需要的一定形状的叉指金电极；然后再用去离子水冲洗干净并吹干；c、用磁控溅射法制作铝背电极：(1)样品清洗；把金刚石薄膜样品放入丙酮溶液里，超声清洗10分钟，去除样品表面的灰尘和油质；(2)溅射制作铝背电极；把清洗好的样品放入磁控溅射仪，同时仅时背面硅衬底受到溅射形成铝膜；溅射操作时，其真空度为3×10-5，溅射功率为60W，溅射时间为60分钟；(3)电极退火；将上述制备好的共面栅电极器件放在500℃下退火60分钟；使Al和Si之间形成紧密接触并使器件具有良好的欧姆特性。 |
