发明名称 薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
摘要 本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法,该薄膜晶体管阵列基板在绝缘基板上依次形成有扫描配线导电层、绝缘层、数据导电层、钝化绝缘层及透明导电层,所述扫描配线导电层上形成有扫描配线和共通电极线,所述绝缘层包括栅绝缘膜,所述扫描配线至少部分裸露与之上数据导电层直接电接触;该结构的阵列基板可降低扫描配线的信号延迟,同时在不设置专门的修复线的情况下,可实现扫描配线断线的自修复。
申请公布号 CN101236953A 申请公布日期 2008.08.06
申请号 CN200710173735.4 申请日期 2008.04.15
申请人 上海广电光电子有限公司 发明人 李喜峰;李俊峰
分类号 H01L23/522(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/84(2006.01);G02F1/1362(2006.01) 主分类号 H01L23/522(2006.01)
代理机构 上海申汇专利代理有限公司 代理人 白璧华
主权项 1.一种薄膜晶体管阵列基板,在绝缘基板上依次形成有扫描配线导电层、绝缘层、数据导电层、钝化绝缘层及透明导电层,所述扫描配线导电层上形成有扫描配线和共通电极线,所述绝缘层包括栅绝缘膜,其特征在于,所述扫描配线至少部分裸露与之上数据导电层直接电接触。
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