用于制造环境中的产品随机化和分析的方法和系统

摘要

本发明涉及一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的方法和系统。所述方法包括使用在多个批次中选择每个产品的随机化技术，在工艺设备处处理所述批次的产品。所述方法还包括为工艺配方中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个操作将与随机选择的产品关联的槽标识符映射到处理变量标识符、处理工具以及所述操作。所述方法还包括使用槽标识符为产品载体定义槽分组以及通过分析每个所述槽分组的历史成品率来确定产品成品率模式。所述方法还包括通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品率，来确定所述工艺配方中每个操作的一个或多个产品成品率模式的出现频率。

主权项

1.一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的方法，所述方法包括：使用在多个批次中选择每个产品的随机化技术，在工艺设备处处理所述批次的产品，所述处理根据工艺配方来执行；为所述工艺配方中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个操作将与随机选择的产品关联的槽标识符映射到处理变量标识符、处理工具以及所述操作；使用槽标识符为所述多个批次中的每个批次的产品载体定义槽分组；通过分析每个所述槽分组的历史成品率来确定产品成品率模式；以及通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品率，来确定所述工艺配方中每个操作的一个或多个产品成品率模式的出现频率。