发明名称 |
用于快速热处理装置的温度测量系统 |
摘要 |
本发明公开一种高温计系统且包括一种升降管。该升降管包括内部管和以伸缩布置方式包围内部管的并且自其顶部延伸至底部的外部管,该布置限定其间的液体通道。该升降管还包括与外部管相关的端口,以便穿过其向液体通道传送冷却气体。高温计头部联接到内部管的底部且在操作上传输和接收穿过内部管的辐射。该系统啊包括联接到内部管或外部管的至少一个顶部的轴环,其在操作上支撑用以热测量的工件。 |
申请公布号 |
CN100409403C |
申请公布日期 |
2008.08.06 |
申请号 |
CN03819866.5 |
申请日期 |
2003.08.21 |
申请人 |
艾克塞利斯技术公司 |
发明人 |
D·布朗;R·D·米多斯;D·陶;M·科奇 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);G01J5/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
崔幼平 |
主权项 |
1. 一种高温计系统,其包括:升降管,该升降管包括;自其顶部延伸到其底部的内部管;和以伸缩式安置的围绕该内部管且自其顶部延伸至底部的外部管,且在该内部管和该外部管之间限定出流体通路,其中内部管与流体通路是流体隔离的;与该外部管相关的端口,该端口在操作上经其向该流体通路中传输冷却气体;联接到该内部管的底部的高温计头部,该高温计头部在操作上传输和接收穿过该内部管的隔射;联接到内部管或外部管的至少一个顶部上且在操作上支撑工件的轴环;和真空泵,该真空泵在操作来在内部管中形成真空。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |