composições não-aquosas, não-corrosivas para limpeza em microeletrÈnica

摘要

"COMPOSIçõES NãO-AQUOSAS, NãO-CORROSIVAS PARA LIMPEZA EM MICROELETRÈNICA". A presente invenção refere-se a agentes de extração para material fotorresistente de extremidade final e composições para limpeza desta invenção que são fornecidas por composições para limpeza isentas de aminoácido, não-aquosas, e são essencialmente não-corrosivas em relação a cobre assim como a alumínio e que compreendem pelo menos um solvente orgânico polar, pelo menos uma amina orgânica hidroxilada e pelo menos um composto inibidor de corrosão com múltiplos grupos funcionais hidroxila que é um composto de fórmula: T~ 1~-(CR~ 1~R~ 2~)m, (CR~ 3~R~ 4~)n!p-(CR~ 5R~ 6~)q,-T~ 2~ em que pelo menos um de R~ 1~ e R~ 2~ OH e um de R~ 1~ e R~ 2~ não é OH, este é selecionado entre H, alquila ou alcóxi, m é um número inteiro de 1 ou maior, R~ 3~ e R~ 4~ são selecionados entre H, alquila ou alcóxi, n é 0 ou um número inteiro positivo maior, p é um número inteiro 1 ou maior, pelo menos um de R~ 5~ e R~ 6~ é OH e se um de R~ 5~ e R~ 6~ não for OH, este é selecionado entre H, alquila ou alcóxi, q é um número inteiro de 1 ou maior; T~ 1~ e T~ 2~ são selecionados entre grupos H, alquila, hidroxialquila, polihidroxialquila, aminoalquila, carbonilalquila ou amida ou T~ 1~ e T~ 2~ podem estar ligados formando uma estrutura selecionada entre uma estrutura cíclica alifática ou cíclica fundida e opcionalmente um ou mais de co-solvente que contém hidroxila, composto arila inibidor de corrosão que contém dois ou mais grupos OH, OR~ 6~ e/ou SO~ 2~R~ 6~R~ 7~ ligados diretamente a um anel aromático, em que R~ 6~, R~ 7~ e R~ 8~ são cada um independentemente selecionados do grupo que consiste em alquila e arila, agente de formação de complexo de metal, um composto inibidor de corrosão de metal diferente e tensoativo.