发明名称 Detection system of electrons and scanning electron microscope
摘要
申请公布号 PL381608(A1) 申请公布日期 2008.08.04
申请号 PL20070381608 申请日期 2007.01.26
申请人 POLITECHNIKA WROC&LSTROK,AWSKA 发明人 S&LSTROK,OWKO WITOLD
分类号 H01J37/244;H01J37/26 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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