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经营范围
发明名称
MEASUREMENT METHOD OF A THICKNESS IN AN EPITAXIAL PROCESS USING A SURFACE STEP
摘要
申请公布号
KR100850134(B1)
申请公布日期
2008.08.04
申请号
KR20060119008
申请日期
2006.11.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;H01L21/20
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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