发明名称 IMPLANTER HAVING A COMPENSATION FUNCTION OF A CUT ANGLE OF A SEMICONDUCTOR WAFER AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100850072(B1) 申请公布日期 2008.08.04
申请号 KR20060108377 申请日期 2006.11.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/425 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址