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发明名称 DEPOSITION METHOD FOR TUNGSTEN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100850127(B1) 申请公布日期 2008.08.04
申请号 KR20060131184 申请日期 2006.12.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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