| 主权项 |
1.一种三层型光阻膜之中间层用的树脂组成物，其包括(A)一聚有机基矽倍半氧烷树脂，其具有1000到50000的重量平均分子量且其在分子内具有二或更多个氧杂环丁烷基，与(B)一可用电磁波或热产生酸的化合物。2.如申请专利范围第1项之树脂组成物，其更包括(C)一聚有机基矽倍半氧烷树脂，其在分子内具有一羟基且其具有1000到50000的重量平均分子量。3.如申请专利范围第1项之树脂组成物，其中该聚有机基矽倍半氧烷树脂(A)系经由使二或多个分子的通式(1)有机基矽化合物反应而得者，或为经由使二或多个分子的通式(1)有机基矽化合物与至少一分子的通式(2)到(5)有机基矽化合物反应而得之树脂：(1)(RO)4Si (2)(RO)3SiR8 (3)(RO)2SiR9R10 (4)(RO)SiR11R12R13 (5)(其中，R表甲基或乙基，各R’独立地表甲氧基，乙氧基，或具有1到20个碳原子的单价有机基；R1到R7各独立地表氢原子或具有1到20个碳原子的单价有机基，R8到R13各独立地表具有1到20个碳原子的单价有机基，k，l，m各独立地表0到20的整数，且n表1到3之整数)。4.如申请专利范围第1项之树脂组成物，其中该聚有机基矽倍半氧烷树脂(A)系经由使用至少1分子之经由将通式(6)到(9)有机矽化合物中至少一者水解所得聚有机基矽倍半氧烷树脂与二或更多分子的通式(10)有机矽化合物反应而得：(RO)4Si (6)(RO)3SiR14 (7)(RO)2SiR15R16 (8)(RO)SiR17CR19 (9)(其中，X表卤素原子，R表甲基或乙基，R”和R14到R26各独立地表具有1到20个碳原子的单价有机基，且彼等可相同或相异；p，q，r各独立地表0到20的整数，且s表1到3的整数)。5.如申请专利范围第1项之树脂组成物，其中该聚有机基矽倍半氧烷树脂(A)系经用通式(11)有机矽化合物将末端基封住：(其中，X表卤素原子，R27到R29各独立地表具有1到20个碳原子的单价有机基)。6.如申请专利范围第2项之树脂组成物，其中该聚有机基矽倍半氧烷树脂(C)的羟基为酚系羟基。7.如申请专利范围第6项之树脂组成物，其中该聚有机基矽倍半氧烷树脂(C)的羟基为通式(16)之酚系羟基：(其中，R70到R71各独立地表氢原子或具有1到20个碳原子的单价有机基，R72到R75各独立地表氢原子或具有1到20个碳原子的单价有机基，且t表0或更大的整数)。8.如申请专利范围第2项之树脂组成物，其中该聚有机基矽倍半氧烷树脂(C)的羟基为醇系羟基。9.如申请专利范围第8项之树脂组成物，其中该聚有机基矽倍半氧烷树脂(C)的羟基为通式(17)之醇系羟基：(其中，R76到R81各独立地表氢原子或具有1到20个碳原子的单价有机基，u，v表0或更大的整数，且w表1或更大的整数)。10.一种三层型光阻膜之中间层用的树脂组成物，其包括(B)一可用电磁波或热产生酸的化合物，(C)一聚有机基矽倍半氧烷树脂，其在分子内具有一羟基且其具有1000到50000的重量平均分子量，与至少一个选自具有下式(18)和(19)的化合物： |
