微影系统及目标定位驱动

摘要

本发明系关于包含影像投影系统之微影系统，该微影系统包含基础框架、共同量测参考、其之间的振动隔离装置及影像投影装置。夹盘可经由支撑装置相对于基础驱动框架部分移动，实现具有多自由度之相对移动。具有两自由度之该基础驱动框架由该基础框架支撑。进而：自其提取粒子之来源，及具有透镜孔径之静电透镜结构，在该目标上偏转粒子束，用于该夹盘及该基础框架相对于该度量框架之位置的第一量测装置。藉由定位该夹盘及该基础驱动框架中之一者或两者，且藉由该静电透镜结构调适电子束之偏转动作，定位该影像。