用于建立用于探测站之地图资料的方法及使用其测试半导体晶片之方法

摘要

本发明在此揭露的是一种建立探针台地图资料的方法以及一种用其测试半导体晶片的方法。在对形成有不同半导体晶片尺寸及半导体晶片之间间距的晶圆建立探针台地图资料的方法中，将形成于晶圆上的半导体晶片分为N组，每组具有一致的尺寸和间距，将N组设置为N个虚拟晶片，基于N个虚拟晶片建立基本地图资料，对于每个虚拟晶片中包含的复数个半导体晶片建立晶片矩阵，以及将N个虚拟晶片的N个晶片矩阵加入到基本地图资料以完成地图资料。