| 摘要 |
本发明所提供的光罩之洗净方法，系不需要将光罩上所装设的光罩护膜剥离，且不需要如溶液洗净之类的庞大装置，将可减少洗净、检查的步骤数，且不致增加制造成本。装设有光罩护膜的光罩之洗净方法，包括有：在光罩护膜框中设置气体导入孔与气体排出孔，并在由光罩与光罩护膜所包围的光罩护膜内部空间中，从气体导入孔导入气体状取代性物质，而将光罩上的异物利用取代性物质进行取代，再从气体排出孔将异物排出的步骤；接着，一边从上述气体导入孔导入空气或氮气或稀有气体，一边对上述光罩施行紫外线照射，而将上述所取代的取代性物质分解并形成气体状，然后再从上述气体排出孔排出的步骤。 |
