摘要 |
本发明提供一种应力缓和能力优异的半导体装置、积层型半导体装置以及用于该半导体装置的中介层基板,其中该应力系产生于中介层基板与印刷电路板(母板)之间,或者积层型半导体装置之半导体装置间。BGA型半导体装置(20),具备具有绝缘基板(1)与配线图案(2)的中介层基板(3)、半导体元件(4)、接着半导体元件(4)与中介层基板(3)之间的连接层(5)、以及设置在中介层基板(3)上的焊球(8);绝缘基板(1),设置在半导体元件(4)外侧的焊球(8)搭载部弯曲形成可摺叠部(1a),绝缘基板(1)的未弯曲部分与弯曲部分系以形成空隙(22)的方式相对向着。 |