| 摘要 |
本发明系有关一种熔融石英玻璃，其特征为对波长245nm之紫外光而言厚度为10Mm之内部透过率为95％以上，且OH含量为5ppm以下，Li、Na、K、Mg、Ca、Cu之各含量未达0.1ppm。较佳者系该熔融石英玻璃在1215℃之黏性率为10#sP!11.5#eP!Pa s以上，而且，在1015℃下、大气中放置24小时时、自表面之深度大于20μm、至100μm之范围内铜(Cu)离子的扩散系数为1x10#sP!-10#eP!cm#sP!2#eP!/sec 以下。该熔融石英玻璃，可藉由使原料二氧化矽粉予以方英石化，然后，在非还原性环境下予以熔融、制造。该熔融石英玻璃，具有紫外线、可见光线、红外线之透过率高，在高纯度下耐热性高，金属杂质之扩散速度小的特性，且适合作为各种光学材料、半导体制造用构件、液晶制造用构件等。 |
