光学元件固持设备和曝光设备

摘要

一种用于固持光学元件的固持设备，该设备包含：量测零件，建构其用于量测该光学元件的座标；和驱动零件，建构其用于基于该量测零件所测得的该座标而运动该光学元件；其中，该量测零件包括第一感测器和第二感测器；建构该第一感测器以检测该光学元件局部的位移量；建构该第二感测器以检测该光学元件局部位在预定位置。