| 摘要 |
本发明提供了一种用层转移工艺（例如受控解理）制造材料膜的方法。该方法包括提供预定厚度的基板材料，所述基板材料具有200毫米或300毫米的直径并包括表面区域。该方法包括在从基板材料的表面区域起的预定深度内形成解理区域，以限定待分开的预定厚度材料。该方法包括使包括解理区域在内的基板接受未加热的石英容器中硫酸与过氧化氢混合物的混合。在一种具体实施例中，该混合物具有低于十亿分之10的痕量金属纯度。在一种具体实施例中，该方法包括在将混合物的温度维持在约100摄氏度和更高的同时，至少使用硫酸与过氧化氢混合物对基板的表面区域进行清洁，并将表面区域结合到操作基板的处理表面区域以使基板表面接合到处理表面区域。该方法用解理处理除去所述厚度的材料。 |
