感光性组成物及使用它之图案形成方法

摘要

一种感光性组成物含：一种在以光化射线或辐线照射时可产生酸之化合物；一种由在此定义之式(I-a)表示之硷性化合物；一种由在此定义之式(I-b)表示之硷性化合物；及一种由在此定义之式(II)表示之界面活性剂。