摘要 |
本发明的涂布装置,系从复数喷嘴朝基板连续吐出有机EL液而涂布的涂布装置,其中,将安装在喷嘴安装部(141)的4支喷嘴中之3支,设定为相对于喷嘴安装部(141)而在副扫描方向上个别移动的可动喷嘴,利用间距调整机构(3)将各可动喷嘴在副扫描方向上依序个别移动,藉此调整4支喷嘴在副扫描方向上的间距。当调整喷嘴间距时,各可动喷嘴(例如第1喷嘴(17a)),在利用喷嘴弹力机构(33)赋予喷嘴抵接部(32)弹力的状态下,藉由抵接部移动机构(34)而在副扫描方向上移动。藉此,以良好之精度控制各可动喷嘴的移动量,而可高精度调整复数喷嘴的间距。 |