发明名称 静电耐压评估装置及静电耐压评估方法
摘要 本发明之静电耐压评估装置包括:施加装置10,其包括:第1连接部15,其可连接于源极驱动器120之输入端子或输出端子而将电荷赋予源极驱动器120、及第2连接部16,其可连接于与第1连接部15所连接之端子不同之端子而且可使所连接之端子接地,且该施加装置10系赋予脉冲性之电荷者;及共通连接部51,其可连接于源极驱动器120之复数个输出端子,而且将该等复数个输出端子电性汇集成1个;经由共通连接部51而将第1连接部15或第2连接部16连接于源极驱动器120之输出端子。藉此,更良好地再现半导体装置之故障状况,评估半导体装置对于静电破坏之耐受量。
申请公布号 TW200831925 申请公布日期 2008.08.01
申请号 TW096139337 申请日期 2007.10.19
申请人 夏普股份有限公司 发明人 下村奈良和;三本敏雄;上山浩一
分类号 G01R31/26(2006.01);G01R31/30(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 G01R31/26(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文;林宗宏
主权项
地址 日本