摘要 |
本发明之静电耐压评估装置包括:施加装置10,其包括:第1连接部15,其可连接于源极驱动器120之输入端子或输出端子而将电荷赋予源极驱动器120、及第2连接部16,其可连接于与第1连接部15所连接之端子不同之端子而且可使所连接之端子接地,且该施加装置10系赋予脉冲性之电荷者;及共通连接部51,其可连接于源极驱动器120之复数个输出端子,而且将该等复数个输出端子电性汇集成1个;经由共通连接部51而将第1连接部15或第2连接部16连接于源极驱动器120之输出端子。藉此,更良好地再现半导体装置之故障状况,评估半导体装置对于静电破坏之耐受量。 |