测试晶圆的探测卡

摘要

本发明提供一种用于测试晶圆之探测卡。此探测卡包括：主卡，其具有电路板，在此电路板中形成孔；辅助卡，其藉由此孔垂直安装于主卡上；以及多个探针，其附装至辅助卡上。用于制造探针卡之成本及时间可大大降低。