气体供应管路及纯化器的更换方法

摘要

一种气体供应管路，适用于将气体从气体供应端输送到机台端，包括主供应管线、多条分流供应管线、多个纯化器、多个第一隔离阀及支援管路。主供应管线连接至气体供应端。分流供应管线分别连接主供应管线与机台端。纯化器分别配置于各分流供应管线上。第一隔离阀分别配置于各分流供应管线上，且位于纯化器与气体供应端之间。支援管路连接至分流供应管线，且配置于纯化器与机台端之间。