离子束之诊断方法

摘要

本发明系有关于一种测量离子束特性的方法，例如测量离子束电流分布或离子束之发散度。其采用法拉第阵列进行测量，该法拉第阵列包括一离子束电流感测器阵列。该阵列可以在该阵列之平面上提供一离子束电流分布。该法拉第阵列也可与一阻挡元件并用，该阻挡元件可移动穿过该法拉第阵列上游的离子束，从而阻挡该离子束之不同部分照射该法拉第阵列。适当操作来自该法拉第阵列的讯号，以便判断该阻挡元件之平面的离子束电流分布，还可以判断出该阻挡元件之平面上的离子束发散度。