具有接地构件完整性指示器之电浆处理室及其使用方法

摘要

本发明提供一种用于监控在电浆处理系统中将基板支撑件连接到室体的接地构件之完整性的方法和装置。在一个实施例中，提供一处理室，其包括连接在基板支撑件和室体之间的接地通路构件。感测器系经定位以感测一表示流经接地构件的电流之测度。在另一实施例中，提供一种监控在电浆处理室中将基板支撑件连接到室体之接地构件的完整性之方法，该方法包括：监控在处理期间一表示流经接地构件的电流之测度；以及相应于超过预定阀值的测度而设定标识。