用于晶胞投射式粒子束微影法之模板设计及方法

摘要

本发明揭示一种用于例如电子束(EB)微影术之粒子束微影术的方法与系统。该方法与系统包括有自一模板光罩选择数个晶胞组形中之一者，并部份地将该晶胞图案暴露于一例如电子束之粒子束，以选择性地在一基材上投射该晶胞组形的一部分。