摘要 |
于积层陶瓷电容器,以薄膜形成法形成内部电极时,烧成步骤的结果,内部电极容易球化。本发明,在陶瓷坯片21上形成作为内部电极13之金属薄膜22时,将由例如镍般之第1金属构成的第1金属粒子23、与由较第1金属易氧化之例如铬般之第2金属构成的第2金属粒子24混合。于烧成步骤,选择性地使金属薄膜22与陶瓷坯片21之介面附近的第2金属粒子24氧化,将金属薄膜22内部之第2金属粒子24析出至金属薄膜22之外且使其氧化,沿着介面形成含有氧化之第2金属粒子24的氧化物层27,一边沿着氧化物层27促进第1金属的粒成长,一边使第1金属粒子23烧结,藉此形成内部电极13。 |