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发明名称
致动器
摘要
与本发明之例子相关的致动器包括:可动部;以及驱动电极,其由电性互相绝缘之多数个电极部而构成,且驱动该可动部;并且藉由选择性地对该多个电极部中之一部施加驱动电压而控制所作用于该可动部之静电力的大小。
申请公布号
TW200832770
申请公布日期
2008.08.01
申请号
TW096133201
申请日期
2007.09.06
申请人
东芝股份有限公司
发明人
池桥民雄
分类号
H01L41/08(2006.01);H01L41/047(2006.01);H01L41/09(2006.01)
主分类号
H01L41/08(2006.01)
代理机构
代理人
詹铭文;萧锡清
主权项
地址
日本
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