| 摘要 |
本发明之用以测试半导体晶片的接触探针与插槽具有简易结构，故可被简易地制造，并具有缩短的讯号路径，因而不仅改善测试可靠度，亦可有效地减少测试设备的尺寸。接触探针包括：绝缘弹性板，具有与测试目标物之接触端子相通的主通孔；柱塞，耦接于主通孔之上侧，每一柱塞具有柱塞头以及柱塞本体，柱塞头藉绝缘弹性板而被弹性地支撑着，且柱塞本体系自柱塞头的中心而向下地延伸；以及接触销，耦接于多个主通孔的下侧，接触销的中心具有接触柱塞的柱塞本体之接收孔。故，接触探针采用可将柱塞耦接至绝缘弹性板并弹性地支撑柱塞的简易结构，因此可简易地制造接触探针，改善测试电流的讯号路径以确保测试可靠度，并以适合于测试随着技术发展而愈形复杂的半导体晶片之测试设备所需的超小型尺寸生产制造。 |
