| 摘要 |
本发明系提供一种使用电子线、X射线及EUV光之微影术中所用光阻组成物。该使用电子线、X射线及EUV光之微影术中所用光阻组成物，系含有藉由含有侧链具有含氟芳香族环构造的重复单元（F）之酸的作用，使硷溶解性增大之含氟聚合物（F）以及使酸产生之化合物者。例如重复单元（F）为下述重复单元（F#sP!V#eP!）（但R#sP!F#eP!为氢原子、卤原子、甲基或卤甲基（3个R#sP!F#eP!可为相同或相异。），Y#sP!F#eP!为碳原子数1～20或氢原子，p、q及r系各为独立之0～5的整数，且p、q及r之和为1～5之整数。）。#P 096138280P01.bmp |
