非接触液封装置及方法

摘要

本发明系对于在侧壁18上设有使单片或带状工件12以宽度方向大致铅直之状态通过的狭缝20且装满处理液之浸渍槽10，设置具有一对喷流喷出部24之非接触液封装置22，上述一对喷流喷出部24系配置于狭缝20两侧，且朝向通过狭缝20之工件12，自工件12两侧喷出处理液之喷流。