整合扫描式光学量测方法

摘要

一种整合扫描式光学量测方法，系利用一多频混合光束之光学干涉量测手段，扫描量测一待测物件表面上之复数个量测位置之距离位置，藉以获得待测物件表面之轮廓全貌，该方法系依据上述之复数个量测位置而建立一水平扫描平面，并在该水平扫描平面上设定至少一水平扫描向量。同时，设定一垂直于该水平扫描向量之垂直扫描向量。接着，将水平扫描向量加上垂直扫描向量，藉以获得一整合扫描向量。最后，沿该整合扫描向量之方向对上述复数个量测位置进行扫描，以量测上述复数个量测位置之距离位置。